光电器件制备及测试功能系统

仪器名称：光电器件制备及测试功能系统

厂  商：沈阳市超高真空实验仪器研制所，德国Braun公司，美国Keithley公司

放置地点：化学楼A110-1

管 理 员：王天维

规格型号：SYIUHVTA-8B（真空镀膜机）、MB 200MOD（手套箱）和Keithley 2000/2400、ST－86LA-3（器件性能测试系统）

技术指标：

薄膜沉积室极限真空：5×10-5Pa

小分子升华源炉加热温度：500℃，

金属舟型—电热蒸发源加热温度：1000℃以上；

手套箱气体纯度：H2O<1 ppm, O2<1 ppm；

功能特点：

在高真空条件下材料的挥发度升高，易于蒸发，屏蔽外界环境和杂质的影响，制备高质量的薄膜器件。